辉光放电质谱仪、射频辉光放电质谱检测报告

辉光放电质谱仪

仪器型号:VG9000

主要技术指标

1.可测元素范围：元素周期表中除氢（H）外的所有元素，包括常用分析方法难以测定的C，N，O，P，S等轻元素

2. 检测浓度范围：检测限，大多数元素的检测限为0.1～0.001μg·G-1

3. 分析速度：快速，一次可给出多量、少量、痕量以及**痕量多元素分析结果4. 激发源：功率≥30W；激发电压≥50kV，激发电流≥1mA

仪器主要用途

适用于高**属、溅射靶材、稀、**级合金等材料的痕量杂质的半定量和定量分析，同时可分析C、N、O等轻元素；半导体材料包括硅片、CdTe、GaAs及其他多种高纯电子材料、

无机非金属材料的杂质分析；薄层分析，深度分布剖面分析等

射频辉光放电质谱

仪器型号:Autoconcept GD 90

-主要技术指标

1.可测元素范围：元素周期表中除氢（H）外的所有元素，包括常用分析方法难以测定的C，N，O，P，S等轻元素

2.检出限：优于100ppt

3. 分辨率：优于4000

上海深汐测试技术有限公司，它是中国第三方检测与认证服务的开拓者，也是国内目前综合从事产品检测、技术咨询、产品认证服务的专业第三方检测机构之一。 CNAS、CMA资质实验室

仪器主要用途

适用于高**属、溅射靶材、稀、**级合金等材料的痕量杂质元素的半定量和定量分析；可直接分析半导体材料、非导体材料等；可对复合材料、镀层、薄膜等进行逐层分析(溅射速率约为：0.38μm/min)等